浅谈洁净室等级规范及相关分类

随着技术水平的提高，无尘环境被广泛应用于各行各业的生产过程中，以确保产品的零污染和高质量要求。

　洁净室(Clean Room)，亦称为无尘室或清净室。是指在一定空间范围内去除空气中的微粒、有害空气和细菌等污染物，并将室内温度、洁净度、室内压力、气流速度和气流分布、噪声、振动、照明和静电控制在一定需求范围内的专门设计的房间。 

　　 

　　一、洁净室管控项目 

　　正如前面洁净室的定义所讲，洁净室不单要对尘埃粒子的占有量进行要求， 

　　而且对整个环境等的相关因素进行管控，具体项目如下： 

　　1.能除去空气中飘游之微尘粒子；2.能防止微尘粒子之产生 

　　3.温度和湿度之控制；4.压力之调节 

　　5.有害气体之排除；6.结构物与隔间之气密性；7.静电之防制；8.电磁干扰预防；9.安全因素之考虑。 

　　10.节能之考量 

　　 

　　二、洁净室净化等级划分标准 

　　世界各国均有自定行的定义规格，但目前比较普遍通用的还是美国联邦标准209E和日本采用公制以每立方公尺为单位的ISO标准。 

　　209E标准中洁净室等级以“M”字头表示，如M1、M1.5、M2.5、M3…..依此类推，配合国际公制单位之标准化，M字母后之阿拉伯数字是以每立方公尺中≥0.5μm之微尘粒子的数目以10的幂次方表示，取其指数表示。若微尘粒子数介于前后二者完全幂次方之间，则以1.5、2.5、3.5等表示。 

　　日本在209E标准的基础上采用公制单位，即以每立方公尺为计数单位的ISO标准。以0.1μm微粒子为计数标准，表示法以Class 1，Class 2，Class 3……Class9表示，最好的等级为Class 1，最差则为Class 9。 

　　 

　　三、洁净室分类 

　　按照洁净室的架构不同而分为紊流式、层流式、复合式三种。 

　　1.紊流式 

　　空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器(HEPA)进入洁净室，并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型式适用于洁净室等级1,000-100,000级。 

　　优点：构造简单、系统建造成本，洁净室之扩充比较容易，在某些特殊用途场所，可并用无尘工作台，提高洁净室等级。 

　　缺点：乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出，易污染制程产品。另外若系统停止运转再激活，欲达需求之洁净度，往往须耗时相当长一段时间。 

　　2.层流式 

　　空气气流运动成一均匀之直线形，空气由覆盖率100%之过滤器进入室内，并由对立面的地板或隔墙板排风，此型式适用于洁净室等级需定较高之环境使用，一般其洁净室等级为100以下。 

　　优点：管理容易，运转开始短时间内即可达稳定状态，不易为作业状态或作业人员所影响。 

　　缺点：构造费用较高，弹性运用空间困难，天花板之吊架相当占空间，维修更换过滤器较麻烦。 

　　3.复合式 

　　复合式为将紊流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。 

　　 

　　四、洁净室气流之流动 

　　洁净室内的气流是左右洁净室性能的重要因素趋于混乱。 

　　1.气流速度数值在0.2~0.52m/s之间，属微风区域，易受人、机器动作的干 

　　扰趋于混乱。虽提高风速可抑制此干扰，但因风速的提高，将影响运转成本的增加，所以应在满足要求的洁净度水准之时，以最适当的风速供应，达到经济性效果。 

　　2.换气次数（气流速度的展现） 

　　 净化等级与换气次数的对应关系： 

　　 100级 ≥360次/h 

　　 1000级 ≥150次/h 

　　 10000级 ≥25次/h 

　　 100000级 ≥15次/h 

　　 

　　五、洁净室尘埃测量标准 

　　洁净室尘埃测量需按照如下要求进行： 

　　1.静态测量 

　　环境自净20min后，方可测量 

　　2.测量点选择 

　　在距离地板最少1.2m处测量（即在所需的工作台面上测量） 

　　3.风机及Hepa检验时（风速、尘埃数量） 

　　在Hepa下方3cm处取其四角、中心五点进行检验 

　　 

　　六、洁净室的保养 

　　洁净室属于一套自带独立功能的复杂设备，正如其他自动化设备一样，同样需要定期、如时的保养维护。只有维护保养到位，其净化功能才能淋漓尽致的发挥，最终达到使用者对环境质量预期的管控效果。洁净室的保养主要涉及以下内容： 

　　1.高效过滤器的功效检查及保养 

　　（1）泄露测量/季。在过滤器下方3cm左右处进行尘埃颗粒量测，含及整个过滤面，逐行量测。 

　　（2）压损测量/季。压损即指风机排出的气流经高效过滤（阻塞）后的损失。 

　　2.初效过滤器的维护保养 

　　初效过滤器是FFU组合中的第一道滤网，也是室外空气进入洁净室的第一道关口。过滤水平通常为30~65%左右，是否可能