浅谈洁净厂房的检测分析

　　摘 要：笔者参照液晶显示器面板制造洁净厂房的实际特征，针对高空间、大面积以及FFU数量巨大的电子工业洁净室工程性能参数的实际检测方式进行了相应的分析和探究，通过数据检测的方式来完成实验任务，经过论证、实验和对比分析之后，对洁净厂房的检测方式进行了分析，同时可以提高工作效率，保证检测质量，缩短检测时间，促使最终的检测结果更具精准度。 

　自从进入到二十一世纪以来，我国的科学技术发展水平就在不断提提高，随之而来电子工业的发展脚步也随之加快，集成电路芯片制造以及液晶显示面板制造生产厂家的运作和发展也趋于成熟，高世代的TFT-LCD生产线中涵盖着8.5代生产线国内已经有数十条生产线正在处于建设过程中，特别是12英寸的晶圆生产线有多条已经建成，同时投入到生产之中，正式生产工艺的实际特征，导致这类的生产用洁净厂房的实际需求度是极高的，此时，就需要对厂房的洁净程度予以全方面的检测，笔者基于此问题进行了分析和归纳。 

　　1 对于洁净厂房检测参数和技术指标的分析 
　　电子工业洁净厂房环境参数可以直接给产品的良品率带来极大的影响，确保洁净室之内动态环境下和静态环境下的每一项餐参数都应当符合设计的内容需要，通常情况下，电子洁净厂房对于各类参数的要求都是极为严格的，比如，对于排气量、新风量、工艺排气、FFU安装检漏、温湿度、照度、静压差、防静电、FFU风速、洁净度等级、噪声以及气流流型等因素的控制需求都是极其严格和严谨的，不仅如此，还有其中的超纯水测试以及超纯气体测试都是必要的，笔者对洁净室的参数测试方式进行了相应的分析，以某8.5液晶面板生产线的彩膜和成盒厂房为例进行探讨，对其实际测试参数和相关技术指标予以阐述[1]。 
　　2 对于FFU面风速测试方式的分析 
　　FFU面风速测试过程中，需要结合相关的技术标准《洁净厂房施工及质量验收规范》GB51110及ISO14644-3中的内容要求，在对过滤网予以测试时，需要在过滤网的1.5分米的位置应用多点风速仪或是单点风速仪在网面之上合理的布置测试点，每一点的均值都应当是过滤网面的风速值。在实施检测工作的过程中，因为液晶显示面板洁净厂房的净高较高，测试工作的落实需要利用移动式升降机亦或是长杆的作用，落实检测工作，但是它的检测效率相对较差，同时高空作业也会具有一定程度的安全隐患，不仅如此，受到建设工期的限制和制约，测试工作量的巨大也会导致测试时间相应的增加，如果想要在规定时间之内完成检测任务，那么就会导致时间过紧，此时的产品投入到工艺运作生产之中，将会致使井字架或是升降机难以正常运行，风速测试工作的落实也会层层受阻[2]。 
　　基于此，实际的测试工作落实之后，需要将其移动到技术夹层之内，应用电子式风量罩来对FFU风机侧进风予以检测，如果将其换位过滤网来完成风速值的测试工作，亦或是将风量罩之上设置相应的尺寸，对过滤网的风速予以读出，想要使测试更为精准，可以通过对比实验的方式，来提高测量的精准度和科学性，可在1.2米*1.2米的截面之上取四个点，与此同时，可以在FFU之上的风侧之上的技术夹层之中的风机侧，借助风量罩来完成测量任务，而后完成数据的读取，从首次的测量数据读取过程中，可知风量罩以及多点风速仪的测试都会体现出一定的误差，这就显示了FFU风机测量实际的进风量，此测量方式具有一定的可行性。或可使用粒子技术方式来完成FFU泄漏检测任务[3]。 
　　粒子技术方法的实施，实际的影响因素主要有两个，其一为测量用尘源，其二为上方尘源浓度。基于尘源这一问题，已经有技术标准来对其予以规范，我国国内大多都使用人工尘源的方式，比如，有PAO、DEHS、DOP以及PSL等，而笔者经过分析之后，认为洁净厂房对于洁净度的需求等级为ISO，以及五级混合流洁净室的FFU检泄漏检测，所应用的大气尘源大多能够符合尘源检测的粒径或是浓度需要，同时人工尘源检测也具有较大的优势，体现出小批量生产中对于空气过滤器泄露检测的精准度，具有一定的稳定性，另外，检测时间以及费用等也可以被接受。 
　　如果空气过滤器的数量较为巨大，那么，将会极其繁杂，不仅费时费力，同时它的实际可操作性能也极差，特别是受到时间成本的影响，如若此时应用大气尘作为尘源，此时的测量方式将会相对较为便捷，检测过程中，仅仅需要在区域范围内引入一定的风量，同时可以在过滤器之上的位置实施取样测试，最终确定尘源的浓度，而其他的操作都应当在过滤网的下方来完成。 
　　结合相关的技术规范需要，应当对采样流量的规定内容，以及采样头的尺寸以及速率等，保证规格为1200*1200的FFU测试时间超出五分钟的范围，确保一个测试人员、测试的机器以及仪器设备等都可以符合测量需要。 
　　3 对于温湿度的测试方式分析 
　　电子工业洁净厂房温湿度精度要求，温湿度的精度应当控制在±0.5摄氏度的范围之内，而湿度精度则应当控制在±5%，此时需要参照有关的技术标准，对温湿度进行合理的设置，对测试点的数量和位置予以确定，将测量点控制在150点左右，实现均匀的分布，这样将会使测试结果更具针对性，更能对室内的情况予以全方位的展现。 
　　4 结束语 
　　综上所述，电子工业洁净厂房对于洁净度的需求是极高的，此时就需要借助高精准度的检测方式，确保测量结果的准确程度，提高检测质量。