洁净室静电测试内容有哪些?
九游中国净化 2021-03-09 15:38:14 阅读
1 泄漏电阻
2 系统接地电阻
3 体积电阻
4 表面电阻
4 系统电阻
GB50591-2010 《洁净室施工及验收规范》
GB/T25915-2010 《洁净室及相关受控环境》
ISO 14644_2006 Cleanrooms and associated controlled environments
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