浅谈洁净室洁净度的检测方法

1.风量或风速的检测

1.1.对于单向流洁净室，采用室截面平均风速和截面积乘积的方法确定送风量。离高效过滤器 0.3m，垂直于气流的截面作为采样测试截面，截面上测点间距不宜大于 0.6m，测点数不应少于５个，以所有测点风速读数的算术平均值作为平均风速。

1.2.对于非单向流洁净室，采用风口法或风管法确定送风量，做法如下：

１.2.1风口法是在安装有高效过滤器的风口处，根据风口开头连接辅助风管进行测量。即用镀锌钢板或其他不产尘材料做成与风口开头及内截面相同，长度等于２倍风口长边 长的直管段，连接于风口外部。在辅助风管出口平面上，按最少测点数不少于６点均匀 布置，使用热球式风速仪测定各测点之风速。然后，以求取的风口截面平均风速乘以风 口净截面积求取测定风量。

1.２.2.对于风口上风侧有较长的支管段，且已经或可以钻孔时，可以用风管法确定风 量。测量断面应位于大于或等于局部阻力部件前３倍管径或长边长，局部阻力部件后５ 部管径或长边长的部位。

对于矩形风管，是将测定截面分割成若干个相等的小截面。每个小截面尽可能接近 正方形，边长不应大于 200mm，测点应位于小截面中心，但整个截面上的测点数不宜 少于３个。

对于圆形风管，应根据管径大小，将截面划分成若干个面积相同的同心圆环，每个 圆环测４点。根据管径确定圆环数量，不宜少于３个。

2.静压差的检测

2.1.静压差的测定应

在所有的门关闭的条件下，由高压向低压，由平面布置上与外界最远的里间房间开始，依次向外测定。

2.2.采用的微差压力计，其灵敏度不应低于 2.0Pa。

2.3. 有孔洞相通的不同等级相邻的洁净室，其洞口处应有合理的气流流向。洞口 的平均风速大于等于 0.2m/s 时，可用热球风速仪检测。

3.空气过滤器泄漏测试

3.1 高效过滤器的检漏，应使用采样速率大于 1L/min 的光学粒子计数器。D 类高 效过滤器宜使用激光粒子计数器或凝结核计数器。

3.2 采用粒子计数器检漏高效过滤器，其上风侧应引入均匀浓度的大气尘或含其他气溶胶尘的空气。对大于等于 0.5μm 尘粒，浓度应大于或等于 3.5×105pc/m3 ；或对 大于或等于 0.1μm 尘粒，浓度应大于或等于 3.5×107pc/m3；若检测 D 类高效过滤器， 对大于或等于 0.1μm 尘粒，浓度应大于或等于 3.5×10９pc/m3。

3.3.泄漏率的检测应在接近设计风速的条件下进行。将受检高效过滤器下风侧测 得的泄漏浓度换算成透过率，高效过滤器不得大于出厂合格透过率的 2 倍；Ｄ类高效过滤器不得大于出厂合格透过率的 3 倍。 B.3.4.在移动扫描检测工程中，应对计数突然递增的部位进行定点检验。

4.室内空气洁净度等级的检测

4.1.空气洁净度等级的检测应在设计指定的占用状态（空态、静态、动态）下进行。

4.2.检测仪器的选用：应使用采样速率大于 1L/min 的光学粒子计数器，在仪器 选用时应考虑粒径鉴别能力，粒子浓度适用范围和计数效率。仪表应有有效的标定合格 证书。

4.3.采样点的规定：

4.3.１.最低限度的采样点数 NL，见表 B.4.3；

表 B.4.3 最低限度的采样点数 NL 表

4.3.２.采样点应均匀分布于整个面积内，并位于工作区的高度（距地坪 0.8m 的水平 面），或设计单位、业主特指的位置。

4.4 采样量的确定：

4.4.1.每次采样的最少采样量见表 B.4.4；

表 B.4.4 每次采样的最少采样量 Vs（L）表

4.4.２.每个采样点的最少采样时间为 1min，采样量至少为 2L；

4.4.３.每个洁净室（区）最少采样次数为３次。当洁净区仅有一个采样点时，则在该点至少采样 3 次；

4.4.４.对预期空气洁净度等级达到４级或更洁净的环境，采样量很大，可采用 ISO14644—1 附录 F 规定的顺序采样法。

4.5 检测采样的规定：

4.5.１.采样时采样口处的气流速度，应尽可能接近室内的设计气流速度；

4.5.２.对单向流洁净室，其粒子计数器的采样管口应迎着气流方向；对于非单向流洁 净室，采样管口宜向上；

4.5.３.采样管必须干净，连接处不得有渗漏。采样管的长度应根据允许长度确定，如 果无规定时，不宜大于 1.5m；

4.5.４.室内的测定人员必须穿洁净工作服，且不宜超过 3 名，并应远离或位于采样点 的下风侧静止不动或微动。

4.6 记录数据评价

空气洁净度测试中，当全室（区）测点为 2~9 点时，必须计 算每个采样点的平均粒子浓度Ｃi 值、全部采样点的平均粒子浓度Ｎ及其标准差，导出 95%置信上限值；采样点超过 9 点时，可采用算术平均值 N 作为置信上限值。

4.6.１ 每个采样点的平均粒子浓度Ｃi 应小于或等于洁净度等级规定的限值，见表4.6-1。

表 B.4.6—1 洁净度等级及悬浮粒子浓度限值

续表 B.4.6-1

4.6.２.全部采样点的平均粒子浓度Ｎ的 95%置信上限值，应小于或等于洁净度等级规 定的限值。即：

式中 N 室内各测点平均含尘浓度，N=∑Ci/n; n 测点数；

s 室内各测点平均含尘浓度 N 的标准差：

t 置信度上限位 95%时，单侧 t 分布的系数，见表 B.4.6-2。

表 B.4.6-2 t 系 数

4.7.每次测试应做记录，并提交性能合格或不合格的测试报告。测试报告应包括 以下内容：

① 测试机构的名称、地址；

② 测试日期的测试者签名；

③ 执行标准的编号及标准实施日期；

④ 被测试的洁净室或洁净区的地址、采样点的特定编号及坐标图；

⑤ 被测洁净室或洁净区的空气洁净度等级、被测粒径（或沉降菌、浮游菌）、被测 洁净室所处的状态、气流流型和静压差；

⑥ 测量用的仪器的编号和标定证书；测试方法细则及测试中的特殊情况；

⑦ 测试结果包括在全部采样点坐标图上注明所测的粒子浓度（或沉降菌、浮游菌 的的菌落数）；

⑧ 对异常测试值进行说明及数据处理。

5.室内浮游菌和沉降菌的检测

5.1.微生物检测方法有空气悬浮微生物法和沉降微生物法两种，采样后的基片（或平皿）经过恒温箱内３７℃、４８h 的培养生成菌落后进行计数。使用的采样器皿 和培养液必须进行消毒灭菌处理。采样点可均匀布置或取代代表性地域布置。

5.2.悬浮微生物法应采用离心式、狭逢式和针孔式等碰击式采样器，采样时间 应根据空气中微生物浓度来决定，采样点数可与测定空气洁净度测点数相同。各种采样 器应按仪器说明书规定的方法使用。沉降微生物法，应采用直径９０mm 培养皿，在采样点上沉降３０mm 后进行采样， 培养皿最少采样数应符合表Ｂ.５.２的规定。

5.3.制药厂洁净室（包括生物洁净室）室内浮游菌和沉降菌测试，也可采用按 协议确定的采样方案。

表 B5.2 最少培养皿数

5.4.用培养皿沉降菌，用碰撞式采样器或过滤采样器测定游浮菌，还应遵守以 下规定：

① 采样装置采样前的准备及采样后的处理，均应在设游高效空气过滤器排风的负 压实验室进行操作，该实验室的温度应为２２±２℃；相对湿度为５０％±１０％；

② 采样仪器应消毒灭菌；

③ 采样器选择应审核其精度和效率，并有合格证书；

④ 采样装置的排气不应污染洁净室；

⑤ 沉降皿个数及采样点、培养基及培养温度、培养时间应按有关规范的规定执行；

⑥ 浮游菌采样器的采样率宜大于１００Ｌ／min；

⑦ 碰撞培养基的空气速度应小于２０m/s。

6.室内空气温度和相对湿度的检测

6.1.根据温度和相对湿度波动范围，应选择相应的具有足够精度的仪表进行测 定。每次测定时间隔不应大于３０min。

6.2.室内测定布置：

① 送回风口处；

② 恒温工作区具有代表性的地点（如沿着工艺设备周围布置或等距离布置）；

③ 没有恒温要求的洁净室中心；

④ 测点一般应布置在距外墙表面大于０.５m，离地面０.８m 的同一高度上；也可 以根据恒温区的大小，分别布置在离地不同高度的几个平面上。

６.３.测点数应符合表Ｂ.６.１的规定。

表 B.6.1 温、温度测点数

６.４.有恒温恒湿要求的洁净室。室温波动范围按各测点的各次温度中偏差控制 点温度的最大值，占测点总数的百分比整理成累积统计曲线。如９０％以上测点偏差值 在室温波动范围内，为符合设计要求。反之，为不合格。

区域温度以各测点中最低的一次测试温度为基准，各测点平均温度与超偏差值的点 数，占测点总数的百分比整理成累计统计曲线，９０％以上测点所达到的偏差值为区域 温差，应符合设计要求。相对温度波动范围可按室温波动范围的规定执行。

7.单向流洁净室截面平均速度，速度不均匀度的检测

7.1.洁净室垂直单向流和非单向流应选择距离或围护结构内表面大于０.５m，离地面高度０.５～１.５m 作为工作区。水平单向流以距送风墙或围护结构内表面０. ５m 处的纵断面为第一工作面。

7.2.测定截面的测点数和测定仪器应符合本规范第６.３条的规定。

7.3.测定风速应用测定架固定风速仪，以避免人体干扰。不得不用手持风速仪测定时，手臂应伸至最长位置，尽量使人体远离测头。

7.4.室内气流流形的测定，宜采用发烟或悬挂丝线的方法，进行观察测量与记录。然后，标在记录的送风平面的气流流形图上。一般每台过滤器至少对应１各观察点。 风速的不均匀度β０按下列公式计算，一般β０值不应大于０.２５。

式中. v——各测点风速的平均值；s——标准差。

８.室内噪声的检测

8.1.测噪声仪器应采用带倍频程分析的声级计．

8.2.测点布置应按洁净室面积均分，每５０m2 设一点．测点位于其中心，距 地面１.１～１.５m 高度处或按工艺要求设定。

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